XRF
xrf
XRF
XRF 기술 (X-ray Fluorescence, 엑스선 형광분석)은 재료에 엑스선을 조사하여,
그 재료가 어떤 원소로 이루어져 있는지를 정성적 또는 정량적으로 분석하는 비파괴 분석 기술입니다.
X-Ray
X-ray는 매우 짧은 파장(0.01nm~10nm)과
높은 에너지를 갖는 전자기파
X-ray는 매우 짧은 파장(0.01nm~10nm )과 높은 에너지를 갖는 전자기파의 일종입니다.
1895년 Wilhelm Conrad Roentgen에 의해 발견되어 의학 및 과학 연구, 산업에서 중요한 도구가 되었습니다.
X-선은 고에너지 전자가 금속 타겟과 충돌할 때 발생되며, 전자는 X-선 광자 형태로 에너지를 방출합니다.
X-ray는 흡수, 회절, 반사, 투과하는 물리화학적 특징을 지니고 있습니다.
이런 특징들을 이용해서 눈으로 보이지 않는 사진촬영용으로 X-Ray 투시기, 물질의 결정구조분석용 XRD, 성분이나 두께측정용으로 XRF, 박막 두께를 측정하는 XRR등의 분석기기를 만들 수 있습니다.
XRF 기술이란?
XRF 원리
X-ray로 시료를 조사하면 시료에 함유되어 있는 고유한 특성을 갖는 형광X선이 발생하는데, 모든 물질은 X-선에 반응 했을 때 고유한 특성에너지를 발생하므로 이 특성에너지 크기로 물질의 성분을 알 수 있고, 금속의 양에 따라 발생하는 형광 X선의양이 비례적으로 증가하므로 형광X선의 전자수로 금속물질의 함량을 측정할 수 있습니다.
XRF 기술 분류
X-ray분석은 영상분석기술과 스펙트럼분석 기술로 나눠집니다. 영상분석기술은 기술은 전통적인 필름 기반 인화방식과 디지털 기반 X-ray 이미지저장방식으로 나뉩니다.
X-ray 형광분석기술(X-ray Fluorescence Analysis)은 물질 내 원소의 존재와 함량을 분석하는 기술로 크게 두 가지 유형으로 나뉩니다.
첫번째는 광학 X-ray 형광분석(Optical X-ray Fluorescence Analysis)으로, 이는 샘플을 Air상태에서 조사하여 발생된 형광 X-ray를 분석하는 방식입니다.
이 방식은 샘플 전처리가 필요하지 않으며, 비파괴적인 분석이 가능하다는 장점이 있습니다.
두번째는 전자 빔 X-ray 형광분석(Electron Beam X-ray Fluorescence Analysis)으로, 이는 진공상태에서 전자 빔을 쏘아 샘플의 표면을 분석하는 방식으로
높은 감도와 해상도를 제공하여 미세 입자나 박막 등의 표면 분석에 유용합니다.